SEMI S3-1211-2011
DIRECTRICES DE SEGURIDAD PARA SISTEMAS DE CALENTAMIENTO DE LÍQUIDOS DE PROCESO

Estándar No.

SEMI S3-1211-2011

Fecha de publicación

2011

Organización

Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

Ultima versión

SEMI S3-1211-2011

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Alcance

Este documento se limita a sistemas de calefacción destinados a modificar o mantener la temperatura de líquidos de proceso. Calentadores de agua desionizada (DI): Se incluyen en el alcance de este documento cuando el agua desionizada calentada se utiliza como "líquido de proceso", según se define en la Sección 5. Fluidos de transferencia de calor (HTF): Se incluyen en el alcance de este documento cuando se utiliza un fluido para transferir calor entre el sistema de calefacción y el líquido de proceso. Para los fines de este documento, los fluidos de transferencia de calor se limitan a líquidos. Si bien el alcance de SEMI S3 es Sistemas de Calefacción de Líquidos de Proceso (PLHS), esta guía puede utilizarse para evaluar subsistemas y determinar si su integración en un PLHS daría como resultado que este último no cumpla con esta guía. Este documento no aborda todos los problemas de seguridad relacionados con el diseño de PLHS. Consulte otras disposiciones de seguridad en otras guías de seguridad de SEMI (por ejemplo, SEMI S2 para Diseño Eléctrico, SEMI S14 para Evaluación y Mitigación de Riesgos de Incendio). Este documento no pretende reemplazar ni anular las disposiciones de ninguna normativa local, norma nacional o internacional, u otro requisito reglamentario. Los sistemas de calentamiento de líquidos de proceso existentes deben seguir cumpliendo con las disposiciones de SEMI S2 y SEMI S3 vigentes en el momento del diseño. Los sistemas de calentamiento de líquidos de proceso rediseñados que impacten significativamente los aspectos de EHS (Medio Ambiente, Salud y Seguridad) del equipo deben cumplir con la última versión de SEMI S3. Esta guía no pretende ser de aplicación retroactiva. En muchos casos, se incorporan referencias a normas dentro de esta guía. Estas referencias no implican la aplicabilidad de la norma completa, sino solo de las partes o temas referenciados. Los sistemas de calentamiento para materiales líquidos en procesos de grabado y deposición en seco no están dentro del alcance de este documento. Los sistemas que calientan líquidos de proceso mediante reacciones químicas exotérmicas no están dentro del alcance de este documento. Los sistemas destinados a calentar líquidos a 50 °C por encima de su temperatura de autoignición (AIT) o en un rango pequeño cerca de su AIT (como se describe en las excepciones de la Sección 9.4.2.1) no están dentro del alcance de este documento. Sin embargo, los sistemas que no están diseñados para este uso, pero que poseen la potencia de calentamiento suficiente para calentar líquidos a dichas temperaturas, se incluyen en el ámbito de aplicación de este documento. Los sistemas de calentamiento que controlan la temperatura del sistema de suministro de fluido o de la cámara de proceso, si el fluido de proceso es un gas o plasma al entrar en contacto con el sustrato, tampoco se incluyen en el ámbito de aplicación de este documento.

SEMI S3-1211-2011 Documento de referencia

• 94/9/EC DIRECTRICES SOBRE LA APLICACIÓN DE LA DIRECTIVA 94/9/CE DEL PARLAMENTO EUROPEO Y DEL CONSEJO DE 23 DE MARZO DE 1994 SOBRE LA APROXIMACIÓN DE LAS LEYES DE LOS ESTADOS MIEMBROS RELATIVOS A EQUIPOS Y SISTEMAS DE PROTECCIÓN DESTINADOS A SU USO EN ATMOS POTENCIALMENTE EXPLOSIVOS*， 2012-09-01 Actualizar
• ASTM C1147 Práctica estándar para determinar la resistencia a la tracción a corto plazo de la soldadura de termoplásticos resistentes a productos químicos
• ASTM D1238 Método de prueba estándar para caudales de termoplásticos mediante plastómetro de extrusión
• ASTM D150 Métodos de prueba estándar para las características de pérdida de CA y la permitividad (constante dieléctrica) del aislamiento eléctrico sólido
• ASTM D2240 Método de prueba estándar para las propiedades del caucho &8212; Dureza del durómetro*， 2026-04-01 Actualizar
• ASTM D2990 Métodos de prueba estándar para fluencia y rotura por tracción, compresión y flexión de plásticos
• ASTM D4591 Método de prueba estándar para determinar temperaturas y calores de transiciones de fluoropolímeros mediante calorimetría diferencial de barrido
• ASTM D621 Método de prueba estándar para impurezas particuladas en combustibles destilados medios mediante filtración de laboratorio
• ASTM D638 Método de prueba estándar para las propiedades de tracción de los plásticos
• ASTM D648 Método de prueba estándar para la temperatura de deflexión de plásticos bajo carga de flexión en posición de canto*， 2026-04-01 Actualizar
• ASTM D790 Métodos de prueba estándar para propiedades de flexión de plásticos no reforzados y reforzados y materiales aislantes eléctricos*， 2025-12-01 Actualizar
• ASTM D792 Métodos de prueba estándar para densidad y gravedad específica (densidad relativa) de plásticos por desplazamiento
• DVS 2205-1 Calcular parámetros de resistencia de envases y equipos termoplásticos*， 2020-01-01 Actualizar
• EN 1127-1 Atmósferas explosivas - Prevención y protección contra explosiones - Parte 1: Conceptos básicos y metodología
• IEC 60079-0 Atmósferas explosivas - Parte 0: Equipo - Requisitos generales*， 2026-02-13 Actualizar
• NFPA 1 Código de Incendios*， 2023-09-14 Actualizar
• NFPA 30 Código de Líquidos Inflamables y Combustibles*， 2023-05-13 Actualizar
• NFPA 318 Norma para la Protección de Instalaciones de Fabricación de Semiconductores*， 2024-09-18 Actualizar
• NFPA 496 Norma para recintos purgados y presurizados para equipos eléctricos*， 2023-05-13 Actualizar
• NFPA 497 Práctica recomendada para la clasificación de líquidos, gases o vapores inflamables y de ubicaciones peligrosas (clasificadas) para instalaciones eléctricas en áreas de procesos químicos*， 2024-01-01 Actualizar
• NFPA 53 Práctica Recomendada sobre Materiales, Equipos y Sistemas Utilizados en Atmosferas Enriquecidas con Oxígeno*， 2020-10-25 Actualizar
• NFPA 69 Norma sobre sistemas de prevención de explosiones*， 2023-12-21 Actualizar
• NFPA 70 Código Eléctrico Nacional*， 2025-09-09 Actualizar
• NFPA 77 Práctica Recomendada sobre Electricidad Estática*， 2023-05-13 Actualizar
• SEMI F78 PRÁCTICA PARA LA SOLDADURA POR ARCO DE TUNGSTENO CON GAS (GTA) DE SISTEMAS DE DISTRIBUCIÓN DE FLUIDOS EN APLICACIONES DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES
• SEMI F81 ESPECIFICACIÓN PARA LA INSPECCIÓN VISUAL Y ACEPTACIÓN DE SOLDADURAS POR ARCO DE TUNGSTENO CON GAS (GTA) EN SISTEMAS DE DISTRIBUCIÓN DE FLUIDOS EN APLICACIONES DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES
• SEMI S10 DIRECTRIZ DE SEGURIDAD PARA LA EVALUACIÓN DE RIESGOS Y EL PROCESO DE EVALUACIÓN DE RIESGOS
• SEMI S13 DIRECTRICES AMBIENTALES, DE SALUD Y SEGURIDAD PARA LOS DOCUMENTOS PROPORCIONADOS AL USUARIO DEL EQUIPO PARA SU USO CON EQUIPOS DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTOR
• SEMI S14 DIRECTRICES DE SEGURIDAD PARA LA EVALUACIÓN Y MITIGACIÓN DEL RIESGO DE INCENDIO PARA EQUIPOS DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES
• SEMI S2 DIRECTRICES AMBIENTALES, DE SALUD Y DE SEGURIDAD PARA EQUIPOS DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES*， 2011-12-24 Actualizar
• SEMI S22 DIRECTRIZ DE SEGURIDAD PARA EL DISEÑO ELÉCTRICO DE EQUIPOS DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES
• SEMI S4 DIRECTRIZ DE SEGURIDAD PARA LA SEPARACIÓN DE BOTELLAS QUÍMICAS CONTENIDAS EN ARMARIOS DISPENSADORES
• SEMI S6 DIRECTRICES EHS PARA LA VENTILACIÓN DE EXTRACCIÓN DE EQUIPOS DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTOR
• UL 1604 Estándar UL para equipos eléctricos de seguridad para uso en ubicaciones peligrosas (clasificadas) Clase I y II, División 2 y Clase III*， 2026-04-01 Actualizar
• UL 746B Materiales poliméricos; evaluaciones de propiedades a largo plazo*， 2026-04-01 Actualizar
• UL 823 Norma para calentadores eléctricos destinados a utilizarse en lugares peligrosos (clasificados)*， 2025-01-16 Actualizar
• UL 943 ESTÁNDAR DE SEGURIDAD Interruptores de circuito de falla a tierra*， 2023-09-05 Actualizar

SEMI S3-1211-2011 Historia

• 2011 SEMI S3-1211-2011 DIRECTRICES DE SEGURIDAD PARA SISTEMAS DE CALENTAMIENTO DE LÍQUIDOS DE PROCESO

estándares y especificaciones