ASTM F2139-01
Método de prueba estándar para medir la concentración de nitrógeno en sustratos de silicio

Estándar No.

ASTM F2139-01

Fecha de publicación

2001

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Ultima versión

ASTM F2139-01

Alcance

1.1 Este método de prueba cubre la determinación de la concentración total de nitrógeno en la mayor parte de sustratos monocristalinos mediante espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS) (1,2)2.

1.2 Este método de prueba se puede utilizar para silicio en el que las concentraciones de dopante son inferiores al 0,2 % (1 x 1020 átomos/cm3) para boro, antimonio, arsénico y fósforo.

1.3 Este método de prueba es para análisis en masa donde la concentración de nitrógeno es constante con la profundidad.

1.4 Este método de prueba se puede utilizar para silicio en el que el contenido de nitrógeno es 1 3 1014 átomos/cm3 o mayor. La capacidad de detección depende del fondo de nitrógeno instrumental del SIMS y de la precisión de la medición.

1.5 Este método de prueba es complementario a la espectroscopia infrarroja, la resonancia paramagnética electrónica, la espectroscopia transitoria de nivel profundo y el análisis de activación de partículas cargadas (3). El método de espectroscopía infrarroja detecta nitrógeno en estados vibratorios específicos, en lugar de nitrógeno total, y se limita al silicio con concentraciones de dopaje inferiores a aproximadamente 1 3 1017 átomos/cm3. La capacidad de detección del análisis de activación de partículas cargadas está limitada por una interferencia del boro.

1.6 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F2139-01 Documento de referencia

• ASTM E122 Práctica estándar para calcular el tamaño de la muestra para estimar, con un error tolerable especificado, el promedio de la característica de un lote o proceso
• ASTM E673 Terminología estándar relacionada con el análisis de superficies

ASTM F2139-01 Historia

• 2001 ASTM F2139-01 Método de prueba estándar para medir la concentración de nitrógeno en sustratos de silicio

Temas especiales sobre estándares y normas

estándares y especificaciones