ADOPTADO_DE:CEN ISO/TS 80004-8:2020 Este documento define términos relacionados con los procesos de nanofabricación en el campo de las nanotecnologías. Todos los términos de proceso en este documento son relevantes para la nanofabricación; sin embargo, muchos de los procesos enumerados no son exclusivamente relevantes para la nanoescala. Los términos que no son exclusivos se indican dentro de las definiciones. Dependiendo de las condiciones controlables, tales procesos pueden dar como resultado características del material a nanoescala o, alternativamente, a escalas mayores. Hay muchos otros términos que nombran herramientas, componentes, materiales, métodos de control de sistemas o métodos de metrología asociados con la nanofabricación que están fuera del alcance de este documento. Los términos y definiciones de otras partes de la serie ISO/TS 80004 se reproducen en la Cláusula 3 para contexto y mejor comprensión.
SN-CEN ISO/TS 80004-8:2020 Historia
2020SN-CEN ISO/TS 80004-8:2020 Nanotecnologías — Vocabulario — Parte 8: Procesos de nanofabricación (ISO/TS 80004-8:2020)
2015SN-CEN ISO/TS 80004-8:2015 Nanotecnologías — Vocabulario — Parte 8: Procesos de nanofabricación (ISO/TS 80004-8:2013)