UNE-CEN ISO/TS 80004-8:2020
Nanotecnologías - Vocabulario - Parte 8: Procesos de nanofabricación (ISO/TS 80004-8:2020) (Ratificada por la Asociación Española de Normalización en enero de 2021.)

Alcance: Este documento define términos en el campo de la nanotecnología relacionados con los procesos de nanofabricación. Todos los términos de proceso en este documento están relacionados con la nanofabricación, sin embargo, muchos de los procesos enumerados no se limitan a la nanoescala. En las definiciones se señalan términos no excluyentes. Dependiendo de las condiciones controlables, estos procesos pueden producir características materiales a escala nanométrica o mayor. Hay muchos otros términos que hacen referencia a herramientas, componentes, materiales, métodos de control de sistemas o métodos de metrología relacionados con la nanofabricación que están más allá del alcance de este documento. Para el contexto y una mejor comprensión, la Sección 3 reproduce términos y definiciones de otras partes de la serie ISO/TS 80004.

UNE-CEN ISO/TS 80004-8:2020 Historia

2021 UNE-CEN ISO/TS 80004-8:2020 Nanotecnologías - Vocabulario - Parte 8: Procesos de nanofabricación (ISO/TS 80004-8:2020) (Ratificada por la Asociación Española de Normalización en enero de 2021.)