DIN EN 62047-21:2015-04
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 21: Método de prueba para la relación de Poisson de materiales MEMS de película delgada (IEC 62047-21:2014); Versión alemana EN 62047-21:2014

Estándar No.

DIN EN 62047-21:2015-04

Fecha de publicación

2015

Organización

German Institute for Standardization

Ultima versión

DIN EN 62047-21:2015-04

DIN EN 62047-21:2015-04 Historia

• 2015 DIN EN 62047-21:2015-04 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 21: Método de prueba para la relación de Poisson de materiales MEMS de película delgada (IEC 62047-21:2014); Versión alemana EN 62047-21:2014
• 2015 DIN EN 62047-21:2015 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 21: Método de prueba para la relación de Poisson de materiales MEMS de película delgada (IEC 62047-21:2014); Versión alemana EN 62047-21:2014
• 1970 DIN EN 62047-21 E:2012-11
• 0000 DIN EN 62047-21:2012