DIN EN 62047-21:2015
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 21: Método de prueba para la relación de Poisson de materiales MEMS de película delgada (IEC 62047-21:2014); Versión alemana EN 62047-21:2014
- Estándar No.
- DIN EN 62047-21:2015
- Fecha de publicación
- 2015
- Organización
- German Institute for Standardization
- Estado
- Remplazado por
- DIN EN 62047-21:2015-04
- Ultima versión
- DIN EN 62047-21:2015-04
- Reemplazar
- DIN EN 62047-21:2012
DIN EN 62047-21:2015 Documento de referencia
- ASTM E132-04 Método de prueba estándar para la relación de Poisson a temperatura ambiente*， 2023-11-08 Actualizar
DIN EN 62047-21:2015 Historia
- 2015 DIN EN 62047-21:2015-04 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 21: Método de prueba para la relación de Poisson de materiales MEMS de película delgada (IEC 62047-21:2014); Versión alemana EN 62047-21:2014
- 2015 DIN EN 62047-21:2015 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 21: Método de prueba para la relación de Poisson de materiales MEMS de película delgada (IEC 62047-21:2014); Versión alemana EN 62047-21:2014
- 1970 DIN EN 62047-21 E:2012-11
- 0000 DIN EN 62047-21:2012
