GSO ISO 20146:2021 Tecnología de vacío — Vacuómetros — Especificaciones, calibración e incertidumbres de medición para vacuómetros de diafragma capacitivo
Este documento define términos relacionados con los medidores de diafragma de capacitancia (CDG), especifica qué parámetros deben proporcionarse para los CDG, detalla su procedimiento de calibración y describe qué incertidumbres de medición deben considerarse al operar estos medidores. Este documento complementa las normas ISO 3567 e ISO 27893 a la hora de calibrar CDG y utilizarlos como estándares de referencia.
GSO ISO 20146:2021 Historia
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