KS D ISO 16413-2026
Pruebas de grosor, densidad y ancho de interfaz de películas delgadas por reflectometría de rayos X — Requisitos instrumentales, alineación y posicionamiento, recolección de datos, análisis de datos e informes

Estándar No.
KS D ISO 16413-2026
Fecha de publicación
2026
Organización
Korean Agency for Technology and Standards (KATS)
Ultima versión
KS D ISO 16413-2026
 

Introducción

Este documento normativo establece los requisitos técnicos específicos para la evaluación de la espesor, densidad y anchura de interfaz en películas delgadas mediante la técnica de reflectividad de rayos X. El texto detalla las especificaciones obligatorias que deben cumplir los instrumentos utilizados en el proceso, asegurando que cada equipo opere dentro de parámetros de precisión y calibración definidos. Además, se describen los procedimientos estandarizados para la alineación y el posicionamiento de las muestras, minimizando errores operativos durante la medición.

La norma aborda sistemáticamente la fase de adquisición de datos, definiendo los métodos para la captura precisa de señales y la subsequentemente necesaria análisis estadístico de la información obtenida. Se incluyen lineamientos para la estructuración y presentación de informes técnicos, garantizando que los resultados sean reproducibles y comparables a nivel internacional. Este enfoque técnico facilita la caracterización precisa de materiales en la industria de la microelectrónica y la nanotecnología, proporcionando una metodología unificada para la validación de procesos de fabricación y control de calidad sin involucrar juicios de valor sobre su utilidad o impacto general.

KS D ISO 16413-2026 Historia

  • 2026 KS D ISO 16413-2026 Pruebas de grosor, densidad y ancho de interfaz de películas delgadas por reflectometría de rayos X — Requisitos instrumentales, alineación y posicionamiento, recolección de datos, análisis de datos e informes
  • 2021 KS D ISO 16413:2021 Evaluación del espesor, la densidad y el ancho de la interfaz de películas delgadas mediante reflectometría de rayos X. Requisitos instrumentales, alineación y posicionamiento, recopilación de datos, análisis de datos e informes.

estándares y especificaciones




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