Este documento especifica términos y definiciones, requisitos técnicos de obleas de silicio, proceso de fabricación de obleas de silicio semiconductor, métodos de prueba, marcas de especificaciones de inspección, embalaje, transporte, almacenamiento y certificados de calidad. Este documento se aplica a la tecnología de materiales de obleas de silicio semiconductores de nueva energía.
T/SHDSGY 135-2023 Historia
2023T/SHDSGY 135-2023 Nueva tecnología de materiales de obleas de silicio semiconductores de energía
2022T/SHDSGY 135-2022 Especificación técnica para placa súper plana de aleación de aluminio.