2015DIN EN 62047-20:2015-04 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 20: Giroscopios (IEC 62047-20:2014); Versión alemana EN 62047-20:2014
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1970DIN EN 62047-20 E:2012-07 Componentes semiconductores - componentes de la tecnología de microsistemas - Parte 20: Giroscopios