DIN EN 62047-2:2007
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 2: Método de ensayo de tracción de materiales de película delgada (IEC 62047-2:2006); Versión alemana EN 62047-2:2006
- Estándar No.
- DIN EN 62047-2:2007
- Fecha de publicación
- 2007
- Organización
- German Institute for Standardization
- Estado
- Remplazado por
- DIN EN 62047-2:2007-02
- Ultima versión
- DIN EN 62047-2:2007-02
- Reemplazar
- DIN IEC 62047-2:2004
- Alcance
- Esta norma internacional especifica el método para ensayos de tracción de materiales de película delgada con una longitud y ancho inferiores a 1 mm y un espesor inferior a 10 ? que son los principales materiales estructurales para sistemas microelectromecánicos (MEMS), micromáquinas y dispositivos similares.#,,#
DIN EN 62047-2:2007 Documento de referencia
DIN EN 62047-2:2007 Historia
- 2007 DIN EN 62047-2:2007-02 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 2: Método de ensayo de tracción de materiales de película delgada (IEC 62047-2:2006); Versión alemana EN 62047-2:2006
- 2007 DIN EN 62047-2:2007 Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 2: Método de ensayo de tracción de materiales de película delgada (IEC 62047-2:2006); Versión alemana EN 62047-2:2006
- 0000 DIN IEC 62047-2:2004
