BS ISO 20341:2003
Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Método para estimar parámetros de resolución de profundidad con múltiples materiales de referencia de capa delta

Estándar No.
BS ISO 20341:2003
Fecha de publicación
2003
Organización
British Standards Institution (BSI)
Estado
Remplazado por
BS ISO 20341:2003(2010)
Ultima versión
BS ISO 20341:2003(2010)
Reemplazar
02/122923 DC:2002
 
Alcance
1 Esta norma internacional especifica procedimientos para estimar tres parámetros de resolución de profundidad, a saber, la longitud de desintegración del borde de ataque, la longitud de desintegración del borde de salida y el ensanchamiento gaussiano, en perfiles de profundidad SIMS utilizando múltiples materiales de referencia de capa delta. 2 Esta norma internacional no es aplicable a capas delta donde el estado químico y físico de la región cercana a la superficie, modificado por los iones primarios incidentes, no está en estado estacionario.

BS ISO 20341:2003 Historia

  • 0000 BS ISO 20341:2003(2010)
  • 2003 BS ISO 20341:2003 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Método para estimar parámetros de resolución de profundidad con múltiples materiales de referencia de capa delta

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