BS ISO 20341:2003
Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Método para estimar parámetros de resolución de profundidad con múltiples materiales de referencia de capa delta

Estándar No.

BS ISO 20341:2003

Fecha de publicación

2003

Organización

British Standards Institution (BSI)

Estado

Remplazado por

BS ISO 20341:2003(2010)

Ultima versión

BS ISO 20341:2003(2010)

Reemplazar

02/122923 DC:2002

Alcance

1 Esta norma internacional especifica procedimientos para estimar tres parámetros de resolución de profundidad, a saber, la longitud de desintegración del borde de ataque, la longitud de desintegración del borde de salida y el ensanchamiento gaussiano, en perfiles de profundidad SIMS utilizando múltiples materiales de referencia de capa delta. 2 Esta norma internacional no es aplicable a capas delta donde el estado químico y físico de la región cercana a la superficie, modificado por los iones primarios incidentes, no está en estado estacionario.

BS ISO 20341:2003 Historia

• 0000 BS ISO 20341:2003(2010)
• 2003 BS ISO 20341:2003 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Método para estimar parámetros de resolución de profundidad con múltiples materiales de referencia de capa delta