JIS K 0169:2012
Análisis químico de superficie - Espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS) - Método para estimar parámetros de resolución de profundidad con múltiples materiales de referencia de capa delta

Estándar No.
JIS K 0169:2012
Fecha de publicación
2012
Organización
Japanese Industrial Standards Committee (JISC)
Ultima versión
JIS K 0169:2012
 
Introducción

Este estándar proporciona un método para estimar la resolución de profundidad en análisis químico de superficie mediante espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS). Se enfoca en el uso de un material de referencia con capas múltiples de plomo para evaluar la capacidad del método para distinguir entre diferentes niveles de profundidad. El estándar establece procedimientos específicos para la calibración y análisis de datos obtenidos durante la medición. Además, describe las condiciones experimentales necesarias para garantizar la precisión y la consistencia de los resultados. Este documento se centra en la metodología y los requisitos técnicos para la aplicación del método descrito.

JIS K 0169:2012 Historia

  • 2012 JIS K 0169:2012 Análisis químico de superficie - Espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS) - Método para estimar parámetros de resolución de profundidad con múltiples materiales de referencia de capa delta

Temas especiales sobre estándares y normas

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estándares y especificaciones

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