Este informe técnico proporciona información para medir (1) la resolución lateral, (2) el área de análisis y (3) el área de muestra vista por el analizador en espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X.
ISO/TR 19319:2003 Historia
2013ISO/TR 19319:2013 Análisis químico de superficies: enfoques fundamentales para la determinación de la resolución lateral y la nitidez en métodos basados en haces