ISO/TR 19319:2013 Análisis químico de superficies: enfoques fundamentales para la determinación de la resolución lateral y la nitidez en métodos basados en haces
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ISO/TR 19319:2013
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Este informe técnico describe: a) Funciones y su relevancia para la resolución lateral: 1) Función de dispersión de puntos (PSF) 2) Función de dispersión de líneas (LSF) 3) Función de dispersión de bordes (ESF) 4) Función de transferencia de modulación (MTF) 5) Función de transferencia de contraste (CTF) b) Métodos experimentales para la determinación de la resolución lateral y parámetros relacionados con la resolución lateral: 1) Imágenes de una franja estrecha 2) Imágenes de un borde afilado 3) Imágenes de rejillas de onda cuadrada c) Factores físicos que afectan la resolución lateral, el área de análisis y el área de muestra vista por el analizador en espectroscopia electrónica Auger y espectroscopia fotoelectrónica de rayos X
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ISO/TR 19319:2013 Historia
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