ASTM F523-93(1997)
Práctica estándar para la inspección visual sin ayuda de superficies de obleas de silicio pulidas
- Estándar No.
- ASTM F523-93(1997)
- Fecha de publicación
- 1993
- Organización
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Estado
- Remplazado por
- ASTM F523-02
- Ultima versión
- ASTM F523-02
- Alcance
- 1.1 Esta práctica cubre un procedimiento de inspección para determinar la calidad de la superficie de las obleas de silicio que han sido pulidas en un lado. 1.2 Esta práctica pretende ser un método de aceptación de grandes volúmenes y, como tal, no requiere el uso de un microscopio u otros instrumentos ópticos. Debido a que la inspección depende de la agudeza visual del operador, los resultados de la prueba pueden ser muy sensibles al operador. Nota 1: Para aclarar la identificación de ciertos defectos observados, se pueden emplear los procedimientos indicados en las Prácticas F154. 1.3 Los defectos visibles a simple vista en superficies de obleas pulidas se clasifican en tres grupos según la geometría de iluminación que mejor los delinea: luz de alta intensidad en la superficie frontal, luz difusa en la superficie frontal y luz difusa en la superficie posterior. Estos defectos se originan por dos fuentes: (1) los causados por imperfecciones en el cristal de silicio y (2) los relacionados con el proceso de fabricación, incluidos el manejo y el embalaje. 1.4 La inspección descrita generalmente se realiza después del pulido y la limpieza posterior al pulido pero antes del embalaje. Aunque los procedimientos de limpieza y envasado no forman parte de esta práctica, la inspección se puede realizar en un producto envasado para determinar el efecto de dichos procedimientos sobre la calidad de las obleas pulidas. 1.5 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse como estándar. Los valores entre paréntesis son sólo para información. 1.6 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM F523-93(1997) Documento de referencia
ASTM F523-93(1997) Historia
- 1970 ASTM F523-02
- 1993 ASTM F523-93(1997) Práctica estándar para la inspección visual sin ayuda de superficies de obleas de silicio pulidas
