ASTM F1404-92(2007)
Método de prueba para la perfección cristalográfica del arseniuro de galio mediante la técnica de grabado con hidróxido de potasio fundido (KOH)

Estándar No.

ASTM F1404-92(2007)

Fecha de publicación

1992

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Ultima versión

ASTM F1404-92(2007)

Alcance

El uso de GaAs para dispositivos semiconductores requiere una estructura de red atómica consistente. Sin embargo, siempre están presentes defectos de red o de líneas cristalinas de diversos tipos y cantidades, y rara vez están distribuidos de manera homogénea. Es importante determinar el valor medio y la distribución espacial de la densidad de las picaduras de grabado.1.1 Este método de prueba se utiliza para determinar si un lingote o una oblea de arseniuro de galio es monocristalino y, de ser así, para medir la densidad de las picaduras de grabado y juzgar la naturaleza de las imperfecciones del cristal. En la medida de lo posible, sigue el método de prueba correspondiente para silicio, el Método de prueba F 47. El Método de prueba F 47 también presenta la definición de muchos términos cristalográficos aplicables a este método de prueba. 1.2 Este procedimiento es adecuado para cristales de arseniuro de galio con densidades de grabado entre 0 y 200 000/cm2. 1.3 Mediante este método de prueba se puede evaluar el arseniuro de galio, ya sea dopado o no, y con diversas propiedades eléctricas. La dirección normal de la superficie frontal de la muestra debe ser paralela a &#<001> dentro de &#± 5° y debe prepararse adecuadamente mediante pulido o grabado, o ambos. El daño del procesamiento no eliminado puede provocar picaduras, oscureciendo la calidad del cristal en masa. 1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso. Las declaraciones de peligro específicas se dan en la Sección 8.

ASTM F1404-92(2007) Documento de referencia

• ASTM D1125 Métodos de prueba estándar para conductividad eléctrica y resistividad del agua*， 1995-11-10 Actualizar
• ASTM E177 Práctica estándar para el uso de los términos precisión y sesgo en los métodos de prueba ASTM
• ASTM F26 
• ASTM F47 

ASTM F1404-92(2007) Historia

• 1992 ASTM F1404-92(2007) Método de prueba para la perfección cristalográfica del arseniuro de galio mediante la técnica de grabado con hidróxido de potasio fundido (KOH)
• 1992 ASTM F1404-92(1999) Método de prueba para la perfección cristalográfica del arseniuro de galio mediante la técnica de grabado con hidróxido de potasio fundido (KOH)