ASTM E684-04 Práctica estándar para la determinación aproximada de la densidad de corriente de haces de iones de gran diámetro para el perfilado de profundidad de pulverización catódica de superficies sólidas normas y especificaciones

Alcance: El perfil de profundidad de pulverización catódica se utiliza junto con la espectroscopia de electrones Auger, la espectroscopia de fotoelectrones de rayos X, la espectroscopia de dispersión de iones y la espectrometría de masas de iones secundarios para determinar la composición química y la concentración atómica en función de la distancia desde la superficie de una muestra. Consulte la Guía E 1127. Se debe especificar el diámetro del haz de iones utilizado para la pulverización catódica y esta práctica es un método relativamente rápido para medir la forma (es decir, la distribución de la densidad de corriente) del haz de iones si no se dispone de una copa de Faraday adecuada. 3 1.1 Esta práctica describe un método simple y aproximado para determinar la forma y densidad de corriente de haces de iones. La práctica se limita a haces de iones de diámetro superior a 0,5 mm del tipo utilizado para la pulverización catódica de superficies sólidas para obtener perfiles de profundidad de pulverización catódica. Se supone que la densidad de corriente del haz de iones es simétrica con respecto al eje del haz. 1.2 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hubiera, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM E684-04 Documento de referencia

ASTM E1127 Guía estándar para perfiles de profundidad en espectroscopía electrónica de Auger
ASTM E1577 Guía estándar para la generación de informes de los parámetros del haz de iones utilizados en el análisis de superficies
ASTM E673 Terminología estándar relacionada con el análisis de superficies

2004 ASTM E684-04 Práctica estándar para la determinación aproximada de la densidad de corriente de haces de iones de gran diámetro para el perfilado de profundidad de pulverización catódica de superficies sólidas
1995 ASTM E684-95(2000) Práctica estándar para la determinación aproximada de la densidad de corriente de haces de iones de gran diámetro para el perfilado de profundidad de pulverización catódica de superficies sólidas