ASTM E1577-95(2000)
Guía estándar para la generación de informes de los parámetros del haz de iones utilizados en el análisis de superficies

Estándar No.
ASTM E1577-95(2000)
Fecha de publicación
1995
Organización
American Society for Testing and Materials (ASTM)
Estado
Remplazado por
ASTM E1577-04
Ultima versión
ASTM E1577-11
Alcance
1.1 Esta guía cubre la información necesaria para caracterizar los haces de iones utilizados en el análisis de superficies. 1.2 Esta guía no cubre toda la información necesaria para realizar un perfil de profundidad de pulverización catódica (consulte los documentos de referencia), especifica las propiedades de la muestra excepto su superficie normal y analiza la justificación para elegir un conjunto particular de parámetros del haz de iones (1). Esta guía supone que el flujo de iones tiene una dirección única, es decir, es un haz de iones, en lugar de un amplio espectro de vectores de velocidad más típico de un plasma. 1.3 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM E1577-95(2000) Historia

  • 2011 ASTM E1577-11 Guía estándar para la generación de informes de los parámetros del haz de iones utilizados en el análisis de superficies
  • 2004 ASTM E1577-04 Guía estándar para la generación de informes de los parámetros del haz de iones utilizados en el análisis de superficies
  • 1995 ASTM E1577-95(2000) Guía estándar para la generación de informes de los parámetros del haz de iones utilizados en el análisis de superficies



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