ASTM E1577-04
Guía estándar para la generación de informes de los parámetros del haz de iones utilizados en el análisis de superficies

Estándar No.

ASTM E1577-04

Fecha de publicación

2004

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM E1577-11

Ultima versión

ASTM E1577-11

Alcance

Los haces de iones se utilizan en el análisis de superficies de dos maneras. En primer lugar, pueden generar señales a partir del espécimen, por ejemplo, en SIMS e ISS. En segundo lugar, pueden eliminar material de la superficie de la muestra mientras una técnica analítica de superficie determina la composición de la superficie recién expuesta. Este proceso se llama perfilado de profundidad de pulverización catódica. Idealmente, esta guía requiere informar todas las características del haz de iones que posiblemente puedan afectar los resultados para que la medición pueda reproducirse. 1.1 Esta guía cubre la información necesaria para caracterizar los haces de iones utilizados en el análisis de superficies. 1.2 Esta guía no cubre toda la información necesaria para realizar un perfil de profundidad de pulverización catódica (consulte los documentos de referencia), especifica las propiedades de la muestra excepto su superficie normal y analiza los fundamentos para elegir un conjunto particular de parámetros del haz de iones (1,7). . Esta guía supone que el flujo de iones tiene una dirección única, es decir, es un haz de iones, en lugar de un amplio espectro de vectores de velocidad más típico de un plasma. 1.3 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM E1577-04 Documento de referencia

• ASTM E1127 Guía estándar para perfiles de profundidad en espectroscopía electrónica de Auger
• ASTM E1162 Práctica estándar para informar datos del perfil de profundidad de pulverización catódica en espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS)
• ASTM E673 Terminología estándar relacionada con el análisis de superficies
• ASTM E684 Práctica estándar para la determinación aproximada de la densidad de corriente de haces de iones de gran diámetro para el perfilado de profundidad de pulverización catódica de superficies sólidas
• ASTM E996 Práctica estándar para informar datos en espectroscopia de electrones de Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X

ASTM E1577-04 Historia

• 2011 ASTM E1577-11 Guía estándar para la generación de informes de los parámetros del haz de iones utilizados en el análisis de superficies
• 2004 ASTM E1577-04 Guía estándar para la generación de informes de los parámetros del haz de iones utilizados en el análisis de superficies
• 1995 ASTM E1577-95(2000) Guía estándar para la generación de informes de los parámetros del haz de iones utilizados en el análisis de superficies