1.1 Esta especificación cubre objetivos de pulverización catódica fabricados con cromo metálico. 1.2 Esta especificación establece niveles de pureza, atributos físicos, métodos analíticos y requisitos de embalaje. 1.3 Los valores indicados en unidades SI se consideran estándar.
ASTM F1367-98(2003) Historia
1998ASTM F1367-98(2011) Especificación estándar para objetivos de pulverización catódica de cromo para aplicaciones de película delgada
1998ASTM F1367-98(2003) Especificación estándar para objetivos de pulverización catódica de cromo para aplicaciones de película delgada
1998ASTM F1367-98 Especificación estándar para objetivos de pulverización catódica de cromo para aplicaciones de película delgada