ASTM F1367-98(2011)
Especificación estándar para objetivos de pulverización catódica de cromo para aplicaciones de película delgada

Estándar No.

ASTM F1367-98(2011)

Fecha de publicación

1998

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Ultima versión

ASTM F1367-98(2011)

Alcance

1.1 Esta especificación cubre objetivos de pulverización catódica fabricados con cromo metálico. 1.2 Esta especificación establece niveles de pureza, atributos físicos, métodos analíticos y requisitos de embalaje. 1.3 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse estándar. No se incluyen otras unidades de medida en esta norma.

ASTM F1367-98(2011) Documento de referencia

• ASTM E112 Métodos de prueba estándar para determinar el tamaño promedio de grano

ASTM F1367-98(2011) Historia

• 1998 ASTM F1367-98(2011) Especificación estándar para objetivos de pulverización catódica de cromo para aplicaciones de película delgada
• 1998 ASTM F1367-98(2003) Especificación estándar para objetivos de pulverización catódica de cromo para aplicaciones de película delgada
• 1998 ASTM F1367-98 Especificación estándar para objetivos de pulverización catódica de cromo para aplicaciones de película delgada