ASTM F1711-96(2008) Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando un método de sonda de cuatro puntos
1.1 Esta práctica describe métodos para medir la resistencia eléctrica de la lámina de películas conductoras delgadas pulverizadas depositadas sobre grandes sustratos aislantes, utilizadas en la fabricación de pantallas de información planas. Se supone que el espesor de la película delgada conductora es mucho más delgado que el espaciado de las sondas de contacto utilizadas para medir la resistencia de la lámina.1.2 Esta norma está diseñada para usarse con el Método de prueba F 390.1.3 Resistividad de la lámina en el rango de 0,5 a Con esta práctica se pueden medir 5000 ohmios por cuadrado. La resistencia de la lámina se supone uniforme en el área que se está sondeando.1.4 Esta práctica es aplicable a superficies planas únicamente.1.5 Esta práctica cubre espaciamientos entre pasadores de sonda de 1,5 mm a 5,0 mm, inclusive (0,059 a 0,197 in inclusive).1.6 El método en esta práctica es potencialmente destructivo para la película delgada en el área inmediata en la que se realiza la medición. Por tanto, las zonas analizadas deberían ser características de la parte funcional del sustrato, pero deberían estar alejadas de las regiones activas críticas. El método es adecuado para caracterizar sustratos de prueba ficticios procesados al mismo tiempo que sustratos de interés. 1.7 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse como estándar. Los valores dados entre paréntesis son solo para información. 1.8 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM F1711-96(2008) Historia
1996ASTM F1711-96(2016) Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando un método de sonda de cuatro puntos
1996ASTM F1711-96(2008) Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando un método de sonda de cuatro puntos
1996ASTM F1711-96(2002) Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando una sonda de cuatro puntos
1996ASTM F1711-96 Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando una sonda de cuatro puntos