ASTM F1711-96(2016)
Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando un método de sonda de cuatro puntos

Estándar No.

ASTM F1711-96(2016)

Fecha de publicación

1996

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Ultima versión

ASTM F1711-96(2016)

Alcance

5.1 La aplicación del Método de prueba F390 a sustratos de paneles planos grandes presenta una serie de dificultades graves que no se habían previsto en el desarrollo de esa norma. Se encuentran los siguientes problemas. 5.1.1 El método de sonda de cuatro puntos puede ser destructivo para la película delgada que se está midiendo. Por lo tanto, el muestreo debe tomarse cerca de un borde o esquina de la placa, donde la película es prescindible. Entonces se requieren factores de corrección geométricos especiales para derivar la resistencia real de la lámina. 5.1.2 El método de prueba F390 se limita a una disposición de sonda colineal convencional, pero en circunstancias particulares son útiles matrices colineales y cuadradas escalonadas. Se necesitan factores de corrección para tener en cuenta las disposiciones de sonda no convencionales. 5.1.3 Método de prueba F390 anticipa una disposición de prueba de precisión en la que el soporte de la sonda y la muestra están colocados rígidamente. No existe ningún aparato correspondiente disponible para probar grandes sustratos de vidrio o plástico. De hecho, es común en las pantallas planas que el operador sostenga la sonda con la mano. 5.1.4 Es difícil, dadas las condiciones citadas en 5.1.3, garantizar que el espaciamiento uniforme de las sondas no se degrade por el manejo brusco del equipo. La matriz cuadrada en fases descrita promedia los errores de colocación de la sonda. 5.1.5 Se estima que esta práctica es precisa en los siguientes niveles. Sin embargo, la precisión aceptable puede verse degradada por la oscilación de la sonda (ver 8.6.4). 5.1.5.1 Como método de referencia, en el que la sonda y el aparato de medición se verifican y califican antes de su uso mediante los procedimientos del Método de prueba F390, párrafo 7 y esta práctica, párrafo 8: desviación estándar, s, de lo medido. La resistencia laminar, RS, es &#≤ 0,01 RS. 5.1.5.2 Como método de rutina, con calificaciones periódicas de la sonda y el aparato de medición mediante los procedimientos del Método de prueba F390, párrafo 7 y esta práctica, párrafo 8: desviación estándar, s, de la resistencia de la lámina medida, RS, es &#≤ 0,02 RS. 1.1 Esta práctica describe métodos para medir la resistencia eléctrica de la lámina de películas conductoras delgadas pulverizadas depositadas sobre grandes sustratos aislantes, utilizadas en la fabricación de información de paneles planos...

ASTM F1711-96(2016) Documento de referencia

• ASTM F390 Método de prueba estándar para la resistencia laminar de películas metálicas delgadas con una matriz colineal de cuatro sondas*， 1998-11-01 Actualizar

ASTM F1711-96(2016) Historia

• 1996 ASTM F1711-96(2016) Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando un método de sonda de cuatro puntos
• 1996 ASTM F1711-96(2008) Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando un método de sonda de cuatro puntos
• 1996 ASTM F1711-96(2002) Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando una sonda de cuatro puntos
• 1996 ASTM F1711-96 Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando una sonda de cuatro puntos