ASTM F1844-97(2008)
Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando un medidor de corrientes de Foucault sin contacto

Estándar No.

ASTM F1844-97(2008)

Fecha de publicación

1997

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM F1844-97(2016)

Ultima versión

ASTM F1844-97(2016)

Alcance

La resistividad es una magnitud principal para la caracterización y especificación de placas de vidrio revestidas utilizadas para pantallas planas. La resistencia de las láminas también es una magnitud fundamental para la caracterización, especificación y seguimiento de los procesos de fabricación de películas delgadas. Esta práctica no requiere preparación de muestras. El método de corrientes parásitas no es destructivo para la película delgada que se está midiendo. No se requieren factores de corrección geométrica especiales, necesarios para algunas mediciones de resistividad eléctrica con sonda de cuatro puntos, para derivar la resistencia laminar real siempre que los transductores tengan una capa continua de película delgada conductora entre ellos. Los métodos de prueba F 673 se refieren a una disposición de prueba en la que los transductores y la muestra (una oblea de silicio de grado semiconductor) están colocados rígidamente. Se encuentran disponibles comercialmente aparatos similares para probar sustratos grandes de vidrio o plástico, no previstos en el alcance de los Métodos de prueba F 673. También se puede usar una sonda manual, dependiendo de la profundidad de garganta requerida. Para su uso como método de referencia, la sonda y el aparato de medición primero deben verificarse y calificarse antes de su uso mediante los procedimientos de los Métodos de prueba F 673 (9.1.1 a 9.1.3 y 9.1.4.2 a 9.1.4.5), luego esta práctica se usado. Para su uso como método de control de calidad de rutina, esta práctica se puede emplear con calificaciones periódicas de sondas y aparatos de medición mediante los procedimientos de los Métodos de prueba F 673 (9.1.1 a 9.1.3 y 9.1.4.2 a 9.1.4.5). Las partes de la prueba deben acordar intervalos de calificación adecuados para el aparato de prueba. 1.1 Esta práctica describe métodos para medir la resistencia eléctrica de la lámina de películas conductoras delgadas pulverizadas depositadas sobre grandes sustratos aislantes (vidrio o plástico), utilizadas en la fabricación de pantallas informativas de paneles planos. . 1.2 Esta práctica está destinada a usarse con los Métodos de prueba F 673. Esta práctica pertenece a un &#“manual&#” Procedimiento de medición en el que un operador coloca el cabezal de medición sobre la muestra de prueba y luego activa personalmente el aparato de prueba. El operador puede tabular los datos de prueba resultantes o, alternativamente, enviarlos a un sistema de registro de datos basado en computadora. Ambos Métodos I y II de los Métodos de prueba F 673 (párrafos 3.1 al 3.3.3 de los Métodos de prueba F 673) son aplicables a esta práctica. 1.3 Resistividad de la hoja en el rango de 0,020 a 3000 &#Ω por cuadrado (conductancia de la hoja en el rango de 3 por 10–4 a 50 mhos por cuadrado) mediante esta práctica. Se supone que la resistencia de la lámina es uniforme en el área que se está probando. Nota 18212;Las unidades de prueba manuales típicas, como se describe en esta práctica, miden e informan en las unidades “mhos por cuadrado”; esto es lo inverso de "ohmios por cuadrado". 1.4 Esta práctica es aplicable únicamente a superficies planas. 1.5 Esta práctica no es destructiva. Puede usarse en paneles de producción para ayudar a asegurar la uniformidad de la producción. 1.6 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse estándar. No se incluyen otras unidades de medida en esta norma. 1.7 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F1844-97(2008) Documento de referencia

• ASTM F673 Métodos de prueba estándar para medir la resistividad de rodajas de semiconductores o la resistencia laminar de películas semiconductoras con un medidor de corrientes de Foucault sin contacto

ASTM F1844-97(2008) Historia

• 2016 ASTM F1844-97(2016) Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando un medidor de corrientes de Foucault sin contacto
• 1997 ASTM F1844-97(2008) Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando un medidor de corrientes de Foucault sin contacto
• 1997 ASTM F1844-97(2002) Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando un medidor de corrientes de Foucault sin contacto
• 1997 ASTM F1844-97 Práctica estándar para medir la resistencia laminar de conductores de película delgada para la fabricación de pantallas planas utilizando un medidor de corrientes de Foucault sin contacto