La espectroscopia de electrones Auger proporciona información sobre el estado químico y físico de una superficie sólida en la región cercana a la superficie. El perfilado de profundidad no destructivo se limita a esta región cercana a la superficie. Las técnicas para medir la profundidad de los cráteres y el espesor de la película se dan en (1). La pulverización iónica se utiliza principalmente para profundidades inferiores al orden de 1 μm. El lapeado angular o la formación de cráteres mecánicos se utiliza principalmente para profundidades superiores al orden de 1 μm. La elección de los métodos de perfilado de profundidad para investigar una interfaz depende de la rugosidad de la superficie, la rugosidad de la interfaz y el espesor de la película (2). Los anchos de la interfaz del perfil de profundidad se pueden medir utilizando una función logística que se describe en la Práctica E 1636.1.1. Esta guía cubre los procedimientos utilizados para el perfilado de profundidad en la espectroscopía electrónica Auger. 1.2 Se dan pautas para el perfilado de profundidad a través de lo siguiente: Sección Sputtering iónico 6 Lapeado angular y sección transversal 7 Formación de cráteres mecánicos 8 Método de réplica de malla 9 Perfilado de profundidad no destructivo 10 1.3 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse como estándar. No se incluyen otras unidades de medida en esta norma. 1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.