Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, señales, embalaje, transporte, almacenamiento y requisitos de seguridad para el trifluoruro de boro utilizado en la industria electrónica. Esta norma se aplica al trifluoruro de boro producido mediante combinación directa y purificación utilizando gas flúor y boro simple como materias primas; y trifluoruro de boro producido por descomposición térmica de fluoroborato de sodio como materia prima y boro purificado. Se utiliza principalmente para la implantación de iones y el dopaje en la producción de dispositivos semiconductores y circuitos integrados.
GB/T 14603-2009 Documento de referencia
GB 14194-2006 Reglas para el llenado de cilindros de gas permanentes.
GB 190-2009 Símbolo de embalaje de mercancías peligrosas.
GB 7144-1999 Marca de cilindro de color para gases.
GB/T 3723-1999 Muestreo de productos químicos de uso industrial--Seguridad en el muestreo
GB/T 14603-2009 Historia
2009GB/T 14603-2009 Gases para la industria electrónica.Trifluoruro de boro