GB/T 14603-2009
Gases para la industria electrónica.Trifluoruro de boro (Versión en inglés)

Estándar No.
GB/T 14603-2009
Idiomas
Chino, Disponible en inglés
Fecha de publicación
2009
Organización
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión
GB/T 14603-2009
Reemplazar
GB/T 14603-1993
Alcance
Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, señales, embalaje, transporte, almacenamiento y requisitos de seguridad para el trifluoruro de boro utilizado en la industria electrónica. Esta norma se aplica al trifluoruro de boro producido mediante combinación directa y purificación utilizando gas flúor y boro simple como materias primas; y trifluoruro de boro producido por descomposición térmica de fluoroborato de sodio como materia prima y boro purificado. Se utiliza principalmente para la implantación de iones y el dopaje en la producción de dispositivos semiconductores y circuitos integrados.

GB/T 14603-2009 Documento de referencia

  • GB 14194-2006 Reglas para el llenado de cilindros de gas permanentes.
  • GB 190-2009 Símbolo de embalaje de mercancías peligrosas.
  • GB 7144-1999 Marca de cilindro de color para gases.
  • GB/T 3723-1999 Muestreo de productos químicos de uso industrial--Seguridad en el muestreo

GB/T 14603-2009 Historia




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