Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, embalaje, marcado, transporte, almacenamiento y requisitos de seguridad de los productos de trifluoruro de boro. Esta norma se aplica al trifluoruro de boro preparado mediante el método de descomposición térmica utilizando fluoroborato de sodio como materia prima. Se utiliza principalmente para la implantación de iones y el dopaje en la producción de dispositivos semiconductores y circuitos integrados. Fórmula molecular: BF3 Masa molecular relativa: 67,805 (según la masa atómica relativa internacional en 1989)
GB/T 14603-1993 Historia
2009GB/T 14603-2009 Gases para la industria electrónica.Trifluoruro de boro