Esta norma internacional especifica un método para calibrar la ampliación de imágenes generadas por un microscopio electrónico de barrido (SEM) utilizando un material de referencia apropiado. Este método se limita a aumentos determinados por el rango de tamaño disponible de las estructuras en el material de referencia de calibración. Esta norma internacional no se aplica al SEM dedicado a la medición de dimensiones críticas.
BS ISO 16700:2004 Historia
2016BS ISO 16700:2016 Cambios rastreados. Análisis de microhaces. Microscopía electrónica de barrido. Directrices para calibrar la ampliación de la imagen
2004BS ISO 16700:2004 Análisis de microhaces - Microscopía electrónica de barrido - Directrices para calibrar la ampliación de imágenes