ASTM F1761-00(2011)
Método de prueba estándar para el paso del flujo de objetivos de pulverización magnética circular

Estándar No.

ASTM F1761-00(2011)

Fecha de publicación

2000

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Ultima versión

ASTM F1761-00(2011)

Remplazado por

ASME B18.6.3-2013

Alcance

Es una práctica estándar utilizar fuentes de deposición por pulverización catódica de magnetrón en la fabricación de medios de almacenamiento de datos magnéticos de película delgada. Pero un objetivo de pulverización ferromagnética tiende a desviar el campo magnético de un cátodo de pulverización, reduciendo así la eficiencia del proceso de pulverización. Los fabricantes de objetivos de pulverización catódica han desarrollado diversos medios para controlar la microestructura de la aleación para minimizar el efecto indeseable de derivación del cátodo. Sin embargo, debido a sus diferentes métodos de fabricación, los objetivos de un proveedor pueden tener propiedades magnéticas significativamente mejores o peores que las de otro, incluso cuando las composiciones de aleaciones sean las mismas. Este método de prueba permite comparar el poder de derivación magnética de objetivos magnéticos bajo una condición de prueba estándar. Los resultados son útiles para engañar a los proveedores y compradores objetivo al predecir el desempeño objetivo, especificar la calidad objetivo y calificar los envíos objetivo entrantes. Esta prueba también puede ser útil para cuantificar los esfuerzos de mejora objetivo. Los pasos del proceso de fabricación que reducen la permeabilidad magnética de un material objetivo tienden a aumentar el PTF y viceversa. En principio, sería posible predecir el PTF acumulando suficientes datos de permeabilidad y conociendo el espesor del objetivo y la intensidad del campo del conjunto magnético utilizado para la pulverización catódica con magnetrón. 1.1 Este método de prueba cubre la medición del campo magnético de CC transmitido a través de un objetivo de pulverización ferromagnética. (&#“pasa flujo&#” o &#“PTF”). En este método de prueba, el campo magnético fuente está en la dirección circunferencial del objetivo de prueba. 1.2 Mediante este procedimiento se pueden caracterizar objetivos planos en forma de disco en el rango de diámetro de 5 a 8 pulgadas inclusive (125 a 205 mm inclusive) y de espesor de 0,1 a 0,5 pulgadas inclusive (2,5 a 13 mm). 1.3 Este método de prueba también es aplicable a objetivos que tienen un centro abierto, por ejemplo, a objetivos de 5 pulgadas. diámetro exterior por 2,5 pulgadas. diámetro interior por 0,25 pulgadas. de espesor (127 mm de diámetro exterior por 63,5 mm de diámetro interior por 6,35 mm de espesor). 1.4 Los objetivos de diversos diámetros y espesores se acomodan mediante dispositivos adecuados para alinear la pieza bajo prueba con la fuente magnética montada en el dispositivo de prueba. En este procedimiento se especifican las herramientas que cubren varios diseños de objetivos populares. Se pueden probar configuraciones de objetivos adicionales proporcionando herramientas especiales. Cuando se utilizan accesorios especiales, todas las partes involucradas en la prueba deben aceptar la configuración de la prueba. 1.5 Los valores indicados en unidades pulgada-libra se considerarán estándar. Los valores entre paréntesis son conversiones matemáticas a unidades SI que se proporcionan únicamente con fines informativos y no se consideran estándar. 1.6 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F1761-00(2011) Historia

• 2000 ASTM F1761-00(2011) Método de prueba estándar para el paso del flujo de objetivos de pulverización magnética circular
• 2000 ASTM F1761-00(2005) Método de prueba estándar para el paso del flujo de objetivos de pulverización magnética circular
• 2000 ASTM F1761-00 Método de prueba estándar para el paso del flujo de objetivos de pulverización magnética circular