ISO 16531:2013 Análisis químico de superficies - Perfilado de profundidad - Métodos para la alineación del haz de iones y la medición asociada de la corriente o densidad de corriente para el perfilado de profundidad en AES y XPS normas y especificaciones

Alcance: Esta norma internacional especifica métodos para la alineación del haz de iones para garantizar una buena resolución de profundidad en el perfilado de profundidad de pulverización catódica y una limpieza óptima de superficies cuando se utilizan iones de gas inerte en espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X. Estos métodos son de dos tipos: uno implica una copa de Faraday para medir la corriente iónica; el otro involucra métodos de imagen. El método de la copa de Faraday también especifica las mediciones de la densidad de corriente y las distribuciones de corriente en haces de iones. Los métodos son aplicables para pistolas de iones con haces con un tamaño de punto inferior a ~1 mm de diámetro. Los métodos no incluyen optimización de la resolución de profundidad.

ISO 16531:2013 Documento de referencia

ISO 18115-1 Análisis químico de superficies. Vocabulario. Parte 1: Términos generales y términos utilizados en espectroscopia.*， 2023-06-01 Actualizar

2020 ISO 16531:2020 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad. Métodos para la alineación del haz de iones y la medición asociada de la corriente o la densidad de corriente para el perfilado de profundidad en AES y XPS.
2013 ISO 16531:2013 Análisis químico de superficies - Perfilado de profundidad - Métodos para la alineación del haz de iones y la medición asociada de la corriente o densidad de corriente para el perfilado de profundidad en AES y XPS