KS D 0259-2012
Métodos de medición de espesor, variación de espesor y arco para oblea de silicio.

Estándar No.

KS D 0259-2012

Fecha de publicación

2012

Organización

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Estado

Remplazado por

KS D 0259-2012(2017)

Ultima versión

KS D 0259-2012(2022)

Reemplazar

KS D 0259-2007

Alcance

Esta norma mide el espesor, el cambio de espesor y la deformación de las obleas de silicio monocristal (en lo sucesivo denominadas obleas).

KS D 0259-2012 Historia

• 0000 KS D 0259-2012(2022)
• 0000 KS D 0259-2012(2017)
• 2012 KS D 0259-2012 Métodos de medición de espesor, variación de espesor y arco para oblea de silicio.
• 0000 KS D 0259-2007