JIS C 5630-18:2014
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 18: Métodos de prueba de flexión de materiales de película delgada

Estándar No.

JIS C 5630-18:2014

Fecha de publicación

2014

Organización

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Ultima versión

JIS C 5630-18:2014

JIS C 5630-18:2014 Documento de referencia

• JIS C 5630-6 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 6: Métodos de ensayo de fatiga axial de materiales de película delgada

JIS C 5630-18:2014 Historia

• 2014 JIS C 5630-18:2014 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 18: Métodos de prueba de flexión de materiales de película delgada