ASTM F3192-16
Especificación estándar para el objetivo de pulverización catódica de cobre de alta pureza utilizado para la metalización de vías de silicio (TSV)

Estándar No.

ASTM F3192-16

Fecha de publicación

2016

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Ultima versión

ASTM F3192-16

Alcance

1.1 Esta especificación detalla los requisitos de criterios genéricos de los objetivos de pulverización catódica de cobre de alta pureza utilizados como material de película delgada para la metalización de vías a través de silicio (TSV) en envases avanzados. 1.2 Las especificaciones de pureza del objetivo de pulverización catódica, tamaño de grano, calidad interna, unión, dimensión y apariencia se incluyen en esta especificación junto con referencias para los métodos de prueba de calificación. También se incluyen requisitos de confiabilidad, certificación, trazabilidad y empaque. 1.2.1 Requisitos de pureza:  1.2.1.1 Impurezas de elementos metálicos, y 1.2.1.2 Impurezas de elementos no metálicos. 1.2.2 Requisitos de tamaño de grano—Tamaño de grano. 1.2.3 Requisitos de Calidad Interna—Defecto interno. 1.2.4 Requisitos de vinculación:  1.2.4.1 Placa de respaldo y 1.2.4.2 Relación de unión. 1.2.5 Requisitos de configuración:  1.2.5.1 Dimensión, 1.2.5.2 Tolerancia y 1.2.5.3 Rugosidad de la superficie. 1.2.6 Requisitos de apariencia—Limpieza de la superficie. 1.3 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse estándar. No se incluyen otras unidades de medida en esta norma. 1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F3192-16 Documento de referencia

• ASTM B209 Especificación estándar para láminas y placas de aluminio y aleaciones de aluminio
• ASTM B248 Especificación estándar para requisitos generales para placas, láminas, tiras y barras laminadas de cobre forjado y aleaciones de cobre
• ASTM E1001 Práctica estándar para la detección y evaluación de discontinuidades mediante el método ultrasónico de pulso-eco sumergido utilizando ondas longitudinales
• ASTM E112 Métodos de prueba estándar para determinar el tamaño promedio de grano
• ASTM F1512 Práctica estándar para la evaluación de la unión por ultrasonidos C-Scan de conjuntos de placa de respaldo de objetivo de pulverización catódica
• ASTM F2113 Guía estándar para analizar e informar el contenido de impurezas y el grado de objetivos de pulverización catódica metálica de alta pureza para aplicaciones electrónicas de película delgada
• ASTM F2405 Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en cobre de alta pureza mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución

ASTM F3192-16 Historia

• 2016 ASTM F3192-16 Especificación estándar para el objetivo de pulverización catódica de cobre de alta pureza utilizado para la metalización de vías de silicio (TSV)