IEC 62047-28:2017 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 28: Método de prueba de rendimiento de dispositivos de captación de energía de electretos MEMS accionados por vibración
Esta parte de IEC 62047 especifica términos y definiciones, y un método de prueba de rendimiento de dispositivos de recolección de energía de electretos MEMS impulsados por vibración para determinar los parámetros característicos para el consumidor, la industria o cualquier aplicación. Este documento se aplica a dispositivos de recolección de energía de electretos impulsados por vibración cuyos electrodos con una separación inferior a 1000 m están cubiertos por material dieléctrico con cargas atrapadas y se fabrican mediante procesos MEMS como grabado, fotolitografía o deposición.
IEC 62047-28:2017 Historia
2017IEC 62047-28:2017 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 28: Método de prueba de rendimiento de dispositivos de captación de energía de electretos MEMS accionados por vibración