ISO 13083:2015
Análisis químico de superficies - Microscopía de sonda de barrido - Normas sobre la definición y calibración de la resolución espacial de microscopios de sonda de barrido eléctrico (ESPM), como SSRM y SCM para imágenes dopantes en 2D y otros fines

Estándar No.

ISO 13083:2015

Fecha de publicación

2015

Organización

International Organization for Standardization (ISO)

Ultima versión

ISO 13083:2015

Alcance

Esta norma internacional describe un método para medir la resolución espacial (lateral) de microscopios de capacitancia de barrido (SCM) o microscopios de resistencia de dispersión y barrido (SSRM), que se utilizan ampliamente para obtener imágenes de la distribución de portadores y otras propiedades eléctricas en dispositivos semiconductores. El método implica el uso de un artefacto con bordes afilados.

ISO 13083:2015 Documento de referencia

• ISO 18115-2:2013 Análisis químico de superficies. Vocabulario. Parte 2: Términos utilizados en microscopía de sonda de barrido.
• ISO 18516:2006 Análisis químico de superficies - Espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X - Determinación de la resolución lateral

ISO 13083:2015 Historia

• 2015 ISO 13083:2015 Análisis químico de superficies - Microscopía de sonda de barrido - Normas sobre la definición y calibración de la resolución espacial de microscopios de sonda de barrido eléctrico (ESPM), como SSRM y SCM para imágenes dopantes en 2D y otros fines

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