SS-EN ISO 23216:2022
Películas a base de carbono: determinación de las propiedades ópticas de películas de carbono amorfo mediante elipsometría espectroscópica (ISO 23216:2021)

Estándar No.

SS-EN ISO 23216:2022

Organización

Swedish Institute for Standards

Ultima versión

SS-EN ISO 23216:2022

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Este documento especifica la elipsometría espectroscópica para la determinación de propiedades ópticas (índice de refracción n y coeficiente de extinción k) y la clasificación óptica de diferentes tipos de películas de carbono amorfo dentro del plano nk. Es aplicable a películas de carbono amorfo depositadas por evaporación ionizada, pulverización catódica, deposición por arco, deposición química en fase de vapor asistida por plasma, técnicas de filamento caliente y otras. No se aplica a películas de carbono modificadas con metales o silicio, películas de carbono amorfo que tienen un gradiente de composición/propiedad en el espesor, pinturas y barnices.

SS-EN ISO 23216:2022 Historia

• 1970 SS-EN ISO 23216:2022 Películas a base de carbono: determinación de las propiedades ópticas de películas de carbono amorfo mediante elipsometría espectroscópica (ISO 23216:2021)

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