ISO 23216:2021
Películas a base de carbono. Determinación de las propiedades ópticas de películas de carbono amorfo mediante elipsometría espectroscópica.

Estándar No.

ISO 23216:2021

Fecha de publicación

2021

Organización

International Organization for Standardization (ISO)

Ultima versión

ISO 23216:2021

Alcance

Este documento especifica la elipsometría espectroscópica para la determinación de propiedades ópticas (índice de refracción n y coeficiente de extinción k) y la clasificación óptica de diferentes tipos de películas de carbono amorfo dentro del plano nk. Es aplicable a películas de carbono amorfo depositadas mediante evaporación ionizada, pulverización catódica, deposición por arco, deposición química de vapor asistida por plasma, técnicas de filamento caliente y otras. No se aplica a películas de carbono modificadas con metales o silicio, películas de carbono amorfo que tengan un gradiente de composición/propiedad en el espesor, pinturas y barnices.

ISO 23216:2021 Historia

• 2021 ISO 23216:2021 Películas a base de carbono. Determinación de las propiedades ópticas de películas de carbono amorfo mediante elipsometría espectroscópica.

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