EN ISO 23216:2022 Películas a base de carbono. Determinación de propiedades ópticas de películas de carbono amorfo mediante elipsometría espectroscópica (ISO 23216:2021)
Este documento especifica la elipsometría espectroscópica para la determinación de propiedades ópticas (índice de refracción n y coeficiente de extinción k) y la clasificación óptica de diferentes tipos de películas de carbono amorfo dentro del plano nk. Es aplicable a películas de carbono amorfo depositadas mediante evaporación ionizada, pulverización catódica, deposición por arco, deposición química de vapor asistida por plasma, técnicas de filamento caliente y otras. No se aplica a películas de carbono modificadas con metales o silicio, películas de carbono amorfo que tengan un gradiente de composición/propiedad en el espesor, pinturas y barnices.
EN ISO 23216:2022 Historia
2022EN ISO 23216:2022 Películas a base de carbono. Determinación de propiedades ópticas de películas de carbono amorfo mediante elipsometría espectroscópica (ISO 23216:2021)