JIS H 0611:1994
Métodos de medición de espesor, variación de espesor y arco para oblea de silicio.

Estándar No.

JIS H 0611:1994

Fecha de publicación

1994

Organización

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Ultima versión

JIS H 0611:1994

Alcance

Esta norma especifica métodos para medir el espesor, la irregularidad del espesor y el pau de las obleas de silicio monocristal (en adelante denominadas obleas).

JIS H 0611:1994 Historia

• 1994 JIS H 0611:1994 Métodos de medición de espesor, variación de espesor y arco para oblea de silicio.
• 1983 JIS H 0611:1971 Métodos de medición de espesor, conicidad y curvatura de obleas de silicio

Temas especiales sobre estándares y normas

estándares y especificaciones