GSO ISO 18516:2013 Análisis químico de superficies - Espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X - Determinación de la resolución lateral
Esta norma internacional describe tres métodos para medir la resolución lateral alcanzable en espectrómetros de electrones Auger y espectrómetros de fotoelectrones de rayos X en configuraciones definidas. El método de regla es adecuado para instrumentos donde se espera que la resolución lateral sea superior a 1 µm. El método de la cuadrícula es adecuado si se espera que la resolución lateral sea inferior a 1 µm pero superior a 20 nm. El método de la isla de oro es adecuado para instrumentos en los que se espera que la resolución lateral sea inferior a 50 nm. Los anexos A, B y C proporcionan ejemplos ilustrativos de la medición de la resolución lateral.
GSO ISO 18516:2013 Historia
2013GSO ISO 18516:2013 Análisis químico de superficies - Espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X - Determinación de la resolución lateral