GB/T 14140.1-1993
Rebanadas y obleas de silicio. Medición del diámetro. Método de proyección óptica. (Versión en inglés)
- Estándar No.
- GB/T 14140.1-1993
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 1993
- Organización
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Estado
- 2010-06
- Remplazado por
- GB/T 14140-2009
- Ultima versión
- GB/T 14140-2009
- Alcance
- Esta norma especifica el método para medir el diámetro de las obleas de silicio con un proyector óptico. Esta norma se aplica a la medición del diámetro de obleas circulares de silicio. El rango de medición es φ40~φ100 mm. Esta norma no se aplica a la medición de la falta de redondez de las obleas de silicio. Este estándar se utiliza como método de medición de referencia.
GB/T 14140.1-1993 Historia
- 2009 GB/T 14140-2009 Método de prueba para medir el diámetro de una oblea semiconductora.
- 1993 GB/T 14140.1-1993 Rebanadas y obleas de silicio. Medición del diámetro. Método de proyección óptica.
GB/T 14140.1-1993 Rebanadas y obleas de silicio. Medición del diámetro. Método de proyección óptica. ha sido cambiado a GB/T 14140-2009 Método de prueba para medir el diámetro de una oblea semiconductora..
