GB/T 14140-2009
Método de prueba para medir el diámetro de una oblea semiconductora. (Versión en inglés)

Estándar No.

GB/T 14140-2009

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2009

Organización

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Ultima versión

GB/T 14140-2009

Reemplazar

GB/T 14140.1-1993 GB/T 14140.2-1993

Alcance

Esta norma especifica el método para medir el diámetro de las obleas de silicio con un proyector óptico. Este estándar es adecuado para medir el diámetro de obleas de silicio circulares y el diámetro máximo que se puede medir es ∮300 mm. No apto para medir la falta de redondez de obleas de silicio.

GB/T 14140-2009 Documento de referencia

• GB/T 12964-2003 Obleas pulidas de silicio monocristalino
• GB/T 2828.1-2003 Procedimientos de muestreo para inspección por atributos. Parte 1: Esquemas de muestreo indexados por límite de calidad de aceptación (AQL) para inspección lote por lote.
• GB/T 6093-2001 Especificaciones geométricas del producto (GPS)--Estándares de longitud--Bloques patrón

GB/T 14140-2009 Historia

• 2009 GB/T 14140-2009 Método de prueba para medir el diámetro de una oblea semiconductora.
• 1993 GB/T 14140.2-1993 Rodajas y obleas de silicio. Medición del diámetro. Método micrométrico.