Esta norma especifica el método para medir el diámetro de las obleas de silicio con un micrómetro. Esta norma se aplica a la medición del diámetro de obleas circulares de silicio. El rango de medición es φ25~φ100mm. Esta norma no se aplica a la medición de la falta de redondez de las obleas de silicio.
GB/T 14140.2-1993 Historia
2009GB/T 14140-2009 Método de prueba para medir el diámetro de una oblea semiconductora.
1993GB/T 14140.2-1993 Rodajas y obleas de silicio. Medición del diámetro. Método micrométrico.