ASTM F154-00 Guía estándar para la identificación de estructuras y contaminantes observados en superficies de silicio especular normas y especificaciones

Alcance: 1.1 El propósito de esta guía es enumerar, ilustrar y proporcionar referencias para diversas características y contaminantes que se observan en obleas de silicio altamente especulares. Se hace referencia a las prácticas recomendadas para la delineación y observación de estos artefactos. Los artefactos descritos en esta guía están destinados a ser paralelos y respaldar el contenido del SEMI M18. Estos artefactos y sinónimos comunes están ordenados alfabéticamente en las Tablas 1 y 2 y se ilustran en las Figs. 1-68.

ASTM F154-00 Documento de referencia

ASTM F1241
ASTM F1725 Guía estándar para el análisis de la perfección cristalográfica de lingotes de silicio
ASTM F1726 Guía estándar para el análisis de la perfección cristalográfica de obleas de silicio
ASTM F1727 Práctica estándar para la detección de defectos inducidos por la oxidación en obleas de silicio pulidas
ASTM F1809 Guía estándar para la selección y uso de soluciones de grabado para delimitar defectos estructurales en silicio
ASTM F1810
ASTM F523 Práctica estándar para la inspección visual sin ayuda de superficies de obleas de silicio pulidas

1970 ASTM F154-02
2000 ASTM F154-00 Guía estándar para la identificación de estructuras y contaminantes observados en superficies de silicio especular