ASTM E1249-10
Práctica estándar para minimizar los errores de dosimetría en las pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos de silicio que utilizan fuentes de Co-60

Estándar No.

ASTM E1249-10

Fecha de publicación

2010

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM E1249-15

Ultima versión

ASTM E1249-15(2021)

Alcance

División de la prueba de dureza de Co-60 en cinco partes: La dosis absorbida en equilibrio se medirá con un dosímetro, como un TLD, ubicado junto al dispositivo bajo prueba. Alternativamente, se puede irradiar un dosímetro en la posición del dispositivo antes o después de la irradiación del dispositivo. Esta dosis absorbida medida por el dosímetro se convertirá en la dosis absorbida de equilibrio en el material de interés dentro de la región crítica dentro del dispositivo bajo prueba, por ejemplo, el óxido de puerta de SiO 2 de un dispositivo MOS. Se considerará una corrección por los efectos de mejora de la dosis absorbida. Esta corrección depende de la energía del fotón que incide en el dispositivo bajo prueba. Se debe hacer una correlación entre la dosis absorbida en la región crítica (por ejemplo, el óxido de puerta mencionado en 4.1.2) y algún efecto eléctricamente importante (como la carga atrapada en la interfaz Si/SiO2 como se manifiesta por un cambio en el voltaje umbral). ). Luego se debe hacer una extrapolación de los resultados de la prueba a los resultados que se esperarían para el dispositivo bajo prueba en condiciones de operación reales.1.1 Esta práctica cubre los procedimientos recomendados para el uso de dosímetros, como los dosímetros termoluminiscentes (TLD), para determinar la dosis absorbida en una región de interés dentro de un dispositivo electrónico irradiado con una fuente de Co-60. Las fuentes de Co-60 se utilizan comúnmente para las pruebas de dosis absorbidas de dispositivos electrónicos de silicio. Nota 18212;Esta prueba de dosis absorbida a veces se denomina &“prueba de dosis total” para distinguirlo de las “pruebas de tasa de dosis”. Nota 28212;Los efectos de la radiación ionizante en algunos tipos de dispositivos electrónicos pueden depender tanto de la dosis absorbida como de la tasa de dosis absorbida; es decir, los efectos pueden ser diferentes si el dispositivo se irradia al mismo nivel de dosis absorbida a diferentes velocidades de dosis absorbida. Los efectos de la tasa de dosis absorbida no están cubiertos en esta práctica, pero deben considerarse en las pruebas de dureza de la radiación. 1.2 El principal error potencial para la medición de la dosis absorbida en dispositivos electrónicos surge de los efectos de la deposición de energía en desequilibrio en las proximidades de las interfaces de los materiales. 1.3 Se proporciona información sobre los efectos de mejora de la dosis absorbida en las proximidades de las interfaces de materiales. Se enfatiza la sensibilidad de tales efectos a componentes de baja energía en el espectro de energía del fotón Co-60. 1.4 Se ofrece una breve descripción de las fuentes típicas de Co-60, con especial énfasis en la presencia de componentes de baja energía en el espectro de energía de los fotones emitidos por dichas fuentes. 1.5 Se dan procedimientos para minimizar los componentes de baja energía del espectro de energía de los fotones de fuentes de Co-60, mediante filtración. Se recomienda el uso de una caja de filtro para lograr dicha filtración. 1.6 Se brinda información sobre los efectos de mejora de la dosis absorbida que dependen de la orientación del dispositivo con respecto a la fuente de Co-60. 1.7 El uso de la filtración del espectro y la orientación adecuada del dispositivo proporciona un entorno de radiación mediante el cual la dosis absorbida en la región sensible de un dispositivo electrónico puede calcularse dentro de límites de error definidos sin un conocimiento detallado de la estructura del dispositivo o del espectro de energía fotónica de la fuente. y, por tanto, sin conocer los detalles de los efectos de mejora de la dosis absorbida. 1.8 Las recomendaciones de esta práctica se aplican principalmente a las pruebas pieza-parte de dispositivos electrónicos. ......

ASTM E1249-10 Documento de referencia

• ASTM E1250 Método de prueba estándar para la aplicación de cámaras de ionización para evaluar el componente gamma de baja energía de los irradiadores de cobalto-60 utilizados en pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos de silicio
• ASTM E170 Terminología estándar relacionada con las mediciones de radiación y la dosimetría
• ASTM E666 Práctica estándar para calcular la dosis absorbida de radiación gamma o X
• ASTM E668 Práctica estándar para la aplicación de sistemas de termoluminiscencia-dosimetría (TLD) para determinar la dosis absorbida en pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos

ASTM E1249-10 Historia

• 2021 ASTM E1249-15(2021) Práctica estándar para minimizar los errores de dosimetría en las pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos de silicio que utilizan fuentes de Co-60
• 2015 ASTM E1249-15 Práctica estándar para minimizar los errores de dosimetría en las pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos de silicio que utilizan fuentes de Co-60
• 2010 ASTM E1249-10 Práctica estándar para minimizar los errores de dosimetría en las pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos de silicio que utilizan fuentes de Co-60
• 2000 ASTM E1249-00(2005) Práctica estándar para minimizar los errores de dosimetría en las pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos de silicio que utilizan fuentes de Co-60
• 2000 ASTM E1249-00 Práctica estándar para minimizar los errores de dosimetría en las pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos de silicio que utilizan fuentes de Co-60