ASTM E1249-15
Práctica estándar para minimizar los errores de dosimetría en las pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos de silicio que utilizan fuentes de Co-60

Estándar No.

ASTM E1249-15

Fecha de publicación

2015

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM E1249-15(2021)

Ultima versión

ASTM E1249-15(2021)

Alcance

4.1 División de la prueba de dureza Co-60 en cinco partes:  4.1.1 La dosis absorbida en equilibrio se medirá con un dosímetro, como un TLD, ubicado junto al dispositivo bajo prueba. Alternativamente, se puede irradiar un dosímetro en la posición del dispositivo antes o después de la irradiación del dispositivo. 4.1.2 Esta dosis absorbida medida por el dosímetro se convertirá a la dosis absorbida de equilibrio en el material de interés dentro de la región crítica dentro del dispositivo bajo prueba, por ejemplo, el óxido de puerta de SiO2 de un dispositivo MOS. 4.1.3 Se deberá considerar una corrección por los efectos de mejora de la dosis absorbida. Esta corrección depende de la energía del fotón que incide en el dispositivo bajo prueba. 4.1.4 Se debe establecer una correlación entre la dosis absorbida en la región crítica (por ejemplo, el óxido de compuerta mencionado en 4.1.2) y algún efecto eléctricamente importante (como la carga atrapada en la interfaz Si/SiO2). como se manifiesta por un cambio en el voltaje umbral). 4.1.5 Luego se debe hacer una extrapolación de los resultados de la prueba a los resultados que se esperarían para el dispositivo bajo prueba en condiciones de funcionamiento reales. Nota 5: Las partes de una prueba analizadas en 4.1.2 y 4.1.3 son el tema de esta práctica. El tema de 4.1.1 está cubierto y se hace referencia en otros estándares como la Práctica E668 y el Informe 14 de ICRU. Las partes de una prueba analizadas en 4.1.4 y 4.1.5 están fuera del alcance de esta práctica. 4.2 Componentes de baja energía en el espectro&#—Algunos de los rayos gamma primarios de Co-60 (1,17 y 1,33 MeV) producen fotones de menor energía mediante la dispersión Compton dentro de la estructura fuente de Co-60, dentro de materiales que se encuentran entre la fuente y el dispositivo bajo prueba, y dentro de materiales que se encuentran más allá del dispositivo pero que contribuyen a la retrodispersión. Como resultado de la complejidad de estos efectos, el espectro de energía de los fotones que impactan en el dispositivo generalmente no se conoce bien. Este punto se analiza con más detalle en la Sección 5 y el Apéndice X1. La presencia de fotones de baja energía en el espectro incidente puede provocar errores de dosimetría. Esta práctica define procedimientos de prueba que deberían minimizar los errores dosimétricos sin la necesidad de conocer el espectro. Estos procedimientos recomendados se analizan en 4.5, 4.6, Sección 7 y Apéndice X5. 4.3 Conversión al equilibrio......

ASTM E1249-15 Documento de referencia

• ASTM E1250 Método de prueba estándar para la aplicación de cámaras de ionización para evaluar el componente gamma de baja energía de los irradiadores de cobalto-60 utilizados en pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos de silicio
• ASTM E170 Terminología estándar relacionada con las mediciones de radiación y la dosimetría
• ASTM E666 Práctica estándar para calcular la dosis absorbida de radiación gamma o X
• ASTM E668 Práctica estándar para la aplicación de sistemas de termoluminiscencia-dosimetría (TLD) para determinar la dosis absorbida en pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos

ASTM E1249-15 Historia

• 2021 ASTM E1249-15(2021) Práctica estándar para minimizar los errores de dosimetría en las pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos de silicio que utilizan fuentes de Co-60
• 2015 ASTM E1249-15 Práctica estándar para minimizar los errores de dosimetría en las pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos de silicio que utilizan fuentes de Co-60
• 2010 ASTM E1249-10 Práctica estándar para minimizar los errores de dosimetría en las pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos de silicio que utilizan fuentes de Co-60
• 2000 ASTM E1249-00(2005) Práctica estándar para minimizar los errores de dosimetría en las pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos de silicio que utilizan fuentes de Co-60
• 2000 ASTM E1249-00 Práctica estándar para minimizar los errores de dosimetría en las pruebas de dureza por radiación de dispositivos electrónicos de silicio que utilizan fuentes de Co-60