SJ/T 11491-2015
Métodos de prueba para medir el contenido de oxígeno intersticial en silicio mediante espectrometría de absorción infrarroja de línea de base corta (Versión en inglés)
- Estándar No.
- SJ/T 11491-2015
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 2015
- Organización
- Professional Standard - Electron
- Ultima versión
- SJ/T 11491-2015
- Alcance
- Esta norma especifica la determinación del contenido de oxígeno intersticial en silicio mediante espectroscopia infrarroja de línea de base corta. Este estándar es adecuado para medir el contenido de oxígeno intersticial en monocristales de silicio tipo n y monocristales de silicio tipo p con baja resistividad utilizando el método de absorción infrarroja de línea de base corta a temperatura ambiente. Una prueba que mide el contenido de oxígeno en el rango efectivo desde 1 × 10 at · cm hasta la máxima solubilidad sólida del oxígeno intersticial en monocristales de silicio.
SJ/T 11491-2015 Historia
- 2015 SJ/T 11491-2015 Métodos de prueba para medir el contenido de oxígeno intersticial en silicio mediante espectrometría de absorción infrarroja de línea de base corta
Temas especiales sobre estándares y normas
línea base infrarroja
Espectro de absorción infrarroja orgánica.
Pico del espectro de absorción infrarroja
Espectro de absorción infrarroja + pico
Pico del espectro de absorción infrarroja
Espectro de absorción infrarroja del fenol.
Espectro de absorción infrarroja del éster.
Espectro de absorción de material infrarrojo.
línea base infrarroja
Espectro de absorción infrarroja de alquinos.
IR + línea base
Espectro de absorción infrarroja del radón.
estándares y especificaciones
ASTM F1188-00 Método de prueba estándar para el contenido de oxígeno atómico intersticial del silicio mediante absorción infrarroja
ASTM F951-02 Método de ensayo para determinar la variación del contenido de oxígeno en la dirección radial de obleas de silicio
ASTM F121-83e1 Método de prueba estándar para el contenido de oxígeno intersticial en silicio monocristalino por absorción infrarroja
ASTM F1366-92(1997)e1 Método de prueba estándar para medir la concentración de oxígeno en sustratos de silicio fuertemente dopados mediante espectrometría de masas de iones
ASTM F1188-02 Método de prueba estándar para el contenido de oxígeno atómico intersticial del silicio mediante absorción infrarroja con línea base corta
DIN 50438-1:1995 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores. Determinación del contenido de impurezas en el silicio mediante absorción infrarroja. Parte 1: Oxígeno
ASTM F1366-92(2002 Método de prueba estándar para la concentración de oxígeno en sustratos de silicio altamente dopados mediante espectrometría de masas de iones secundarios
ASTM F951-96 Método de prueba estándar para la determinación de la variación radial del oxígeno intersticial en obleas de silicio
ASTM F951-01 Método de prueba estándar para la determinación de la variación radial del oxígeno intersticial en obleas de silicio
ASTM F1189-88 Medición del contenido de oxígeno intersticial en obleas de silicio pulidas por ambas caras mediante espectroscopia infrarroja asistida por computadora