IEC 63068-1:2019 Dispositivos semiconductores. Criterios de reconocimiento no destructivo de defectos en oblea homoepitaxial de carburo de silicio para dispositivos de potencia. Parte 1: Clasificación de defectos.
Esta parte de la norma IEC 63068 clasifica los defectos en capas epitaxiales de 4H-SiC (carburo de silicio) en estado bruto. Los defectos se clasifican según sus estructuras cristalográficas y se reconocen mediante métodos de detección no destructivos, como la microscopía óptica (OM) de campo claro, la fotoluminiscencia (PL) y la topografía de rayos X (XRT).
IEC 63068-1:2019 Historia
2019IEC 63068-1:2019 Dispositivos semiconductores. Criterios de reconocimiento no destructivo de defectos en oblea homoepitaxial de carburo de silicio para dispositivos de potencia. Parte 1: Clasificación de defectos.