BS IEC 63068-1:2019 Dispositivos semiconductores. Criterios de reconocimiento no destructivo de defectos en oblea homoepitaxial de carburo de silicio para dispositivos de potencia - Clasificación de defectos
¿De qué trata BS IEC 63068-1: oblea homoepitaxial de carburo de silicio? BS IEC 63068-1 es la primera parte de una norma internacional utilizada para dispositivos semiconductores que ayuda a clasificar los defectos en el carburo de silicio homoepitaxial. Al utilizar BS IEC 63068-1, puede fabricar dispositivos semiconductores de buena calidad. BS IEC 63068-1 proporciona una clasificación de defectos en capas epitaxiales de 4H-SiC (carburo de silicio) en crecimiento. Los defectos se clasifican en función de sus estructuras cristalográficas y se reconocen mediante métodos de detección no destructivos que incluyen imágenes de campo brillante OM (microscopía óptica), PL (fotoluminiscencia) y XRT (topografía de rayos X). ¿A quién está dirigida la norma BS IEC 63068-1: oblea homoepitaxial de carburo de silicio? BS IEC 63068-1 sobre criterios de reconocimiento no destructivo de defectos en oblea homoepitaxial de carburo de silicio útil para:
BS IEC 63068-1:2019 Historia
2019BS IEC 63068-1:2019 Dispositivos semiconductores. Criterios de reconocimiento no destructivo de defectos en oblea homoepitaxial de carburo de silicio para dispositivos de potencia - Clasificación de defectos